VERFAHREN ZUR VERMEIDUNG VON PARTIKELVERUNREINIGUNGEN BEI DER HERSTELLUNG VON HOCHINTEGRIERTEN HALBLEITERANORDNUNGEN UND EINE VORRICHTUNG ZUR DURCHFUEHRUNG DESSELBEN
SELLE,HANS-JOACHIM,DD, ROTHE,MANFRED,DD, STEGEMANN,KARL-HEINZ,DD, HAENEL,HEINZ-OLAF,DD
Year of Publication 13.09.1989
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Patent
VERFAHREN ZUR SOFORTIGEN MESSTECHNISCHEN KONTROLLE VON ATOMEN
JOSCH,MICHAEL,DD, UNGER,WOLF,DD, KAHLERT,VOLKER,DD, HAENEL,HEINZ-OLAF,DD
Year of Publication 22.02.1989
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Patent
VERFAHREN ZUM AUSGLEICHEN DES DRUCKES IN EINER VAKUUMKAMMER
LANGNER,GERNOT,DD, LENK,ANDREAS,DD, KUENZEL,MANFRED,DD, GERISCH,DIETBERT,DD, HAENEL,HEINZ-OLAF,DD, SCHAFFRATH,GERD,DD
Year of Publication 05.12.1990
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Year of Publication 05.12.1990
Patent