Regression Methods for Virtual Metrology of Layer Thickness in Chemical Vapor Deposition
Purwins, Hendrik, Barak, Bernd, Nagi, Ahmed, Engel, Reiner, Hockele, Uwe, Kyek, Andreas, Cherla, Srikanth, Lenz, Benjamin, Pfeifer, Gunter, Weinzierl, Kurt
Published in IEEE/ASME transactions on mechatronics (01.02.2014)
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Journal Article
Verbundsystem und Verfahren zum haftenden Verbinden eines hygroskopischen Materials
Döpke, Holger, Schmidt, Tobias, Porwol, Daniel, Altschaeffl, Christian, Schweiger, Christian, Wächter, Claus von, Mühlbauer, Franz-Xaver, Höckele, Uwe, Koblinski, Carsten von
Year of Publication 03.08.2023
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Year of Publication 03.08.2023
Patent
Halbleiterpackages und Verfahren zu deren Ausbildung
Mahler, Joachim, Schmidt, Matthias, Fischer, Thomas, Prueckl, Anton, Gruber, Hermann, Höckele, Uwe
Year of Publication 05.11.2020
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Year of Publication 05.11.2020
Patent
Regression methods for prediction of PECVD Silicon Nitride layer thickness
Purwins, H., Nagi, A., Barak, B., Hockele, U., Kyek, A., Lenz, B., Pfeifer, G., Weinzierl, K.
Published in 2011 IEEE International Conference on Automation Science and Engineering (01.08.2011)
Published in 2011 IEEE International Conference on Automation Science and Engineering (01.08.2011)
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Conference Proceeding
Leistungshalbleiterbauelement und DMOS - Leistungshalbleiterbauelement
Maier, Hubert, Wöhlert, Stefan, Detzel, Thomas, Dr, Schreiber, Kai-Alexander, Dr, Höckele, Uwe
Year of Publication 02.02.2017
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Patent
Verbundsystem und Verfahren zum haftenden Verbinden eines hygroskopischen Materials
Döpke, Holger, Schmidt, Tobias, Porwol, Daniel, Altschaeffl, Christian, Schweiger, Christian, Wächter, Claus von, Mühlbauer, Franz-Xaver, Höckele, Uwe, Koblinski, Carsten von
Year of Publication 08.09.2016
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Patent
Passivierungsschicht und Verfahren zum Herstellen einer Passivierungsschicht
STEINBRENNER, JÜRGEN, SCHÖNHERR, HELMUT, WELLENZOHN, ELFRIEDE, BRUNNER, CHRISTOPH, GIETLER, HERBERT, FISTER, SILVANA, HÖCKELE, UWE, MATOY, KURT, KAHN, MARKUS, KRENN, CHRISTIAN, MAIER, HUBERT
Year of Publication 30.04.2014
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Patent
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES BILDGEBERS UND EINER BILDGEBERVORRICHTUNG
Offenberg, Dirk, Pruegl, Klemens, Braun, Felix, Bodini, Emanuele Bruno, Meinhold, Dirk, Hoeckele, Uwe, Uhlig, Ines, Gruber, Hermann
Year of Publication 25.07.2019
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Patent
Ein Verfahren zum Herstellen eines Bauelements auf einem Substrat
Nickut, Patricia, Jalics, Christof, Schest, Tanja, Preis, Walter, Adler, Joerg, Goellner, Reinhard, Obernhuber, Sandra, Hoeckele, Uwe
Year of Publication 19.07.2018
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Year of Publication 19.07.2018
Patent
Halbleiterpackages und Verfahren zu deren Ausbildung
MAHLER, JOACHIM, GRUBER, HERMANN, FISCHER, THOMAS, PRUECKL, ANTON, SCHMIDT, MATTHIAS, HOECKELE, UWE
Year of Publication 02.10.2013
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Patent
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES BILDGEBERS UND EINER BILDGEBERVORRICHTUNG
BRAUN, FELIX, MEINHOLD, DIRK, UHLIG, INES, BODINI, EMANUELE BRUNO, OFFENBERG, DIRK, GRUBER, HERMANN, PRUEGL, KLEMENS, HOECKELE, UWE
Year of Publication 25.09.2014
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Patent
Method for manufacturing power semiconductor device e.g. insulated gate bipolar transistor, involves forming trenches partially filled with insulating material starting from side to side in regions of semiconductor structure
AHRENS, CARSTEN, WILLKOFER, STEFAN, FRANK, MANFRED, KNOTT, BERNHARD, LEHNERT, WOLFGANG, BERGER, RUDOLF, HOECKELE, UWE, KRUMBEIN, ULRICH, SCHUDERER, BERTHOLD, WAGNER, JUERGEN
Year of Publication 12.07.2012
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Patent
Ein Verfahren zum Herstellen eines Bauelements auf einem Substrat
NICKUT, PATRICIA, ADLER, JOERG, JALICS, CHRISTOF, GOELLNER, REINHARD, SCHEST, TANJA, OBERNHUBER, SANDRA, HOECKELE, UWE, PREIS, WALTER
Year of Publication 14.10.2010
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Year of Publication 14.10.2010
Patent