Search Results - "Gurusamy, Jay" :: K.UTB vyhledávací portál | TBU Library Retrieval Portal

화학적 기계적 연마 보정 툴

화학적 기계적 연마 보정 툴

by ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY
Year of Publication 19.04.2022

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Patent

분할된 기판 척을 갖는 캐리어 헤드

분할된 기판 척을 갖는 캐리어 헤드

by ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY
Year of Publication 18.04.2022

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Patent

멤브레인 위치 제어를 구비한 연마 헤드

멤브레인 위치 제어를 구비한 연마 헤드

by ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY
Year of Publication 14.04.2022

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Patent

접촉 연장부 또는 조절가능한 정지부를 갖는 기판 연마 장치

접촉 연장부 또는 조절가능한 정지부를 갖는 기판 연마 장치

by ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY, NAGENGAST ANDREW
Year of Publication 22.08.2022

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Patent

연마 헤드 리테이닝 링 기울임 모멘트 제어

연마 헤드 리테이닝 링 기울임 모멘트 제어

by ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY, NAGENGAST ANDREW
Year of Publication 12.08.2022

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Patent

제어된 프로파일 연마 플래튼

제어된 프로파일 연마 플래튼

by ZUNIGA STEVEN M, KIM BUM JICK, GURUSAMY JAY
Year of Publication 21.11.2023

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Patent

부동 에지 제어를 갖는 연마 캐리어 헤드

부동 에지 제어를 갖는 연마 캐리어 헤드

by ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY, NAGENGAST ANDREW J
Year of Publication 24.10.2023

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Patent

비접촉식 플래튼 에지 제어를 갖는 연마 시스템

비접촉식 플래튼 에지 제어를 갖는 연마 시스템

by LISCHKA DAVID J, ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY, LOI DANIELLE
Year of Publication 17.10.2023

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Patent

기판 세정 디바이스들 및 그의 방법들

기판 세정 디바이스들 및 그의 방법들

by ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY, RANGARAJAN JAGAN
Year of Publication 09.09.2021

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Patent

HIGH THROUGHPUT POLISHING MODULES AND MODULAR POLISHING SYSTEMS

HIGH THROUGHPUT POLISHING MODULES AND MODULAR POLISHING SYSTEMS

by GOLUBOVSKY EDWARD, ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY, RANGARAJAN JAGAN
Year of Publication 28.02.2023

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Patent

변형가능한 기판 척

변형가능한 기판 척

by ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY, NAGENGAST ANDREW J
Year of Publication 02.09.2022

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Patent

다수의 각도적 가압 가능한 구역들을 갖는 연마 캐리어 헤드

다수의 각도적 가압 가능한 구역들을 갖는 연마 캐리어 헤드

by ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY, NAGENGAST ANDREW J, GALBURT VLADIMIR
Year of Publication 22.08.2022

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Patent

다중 디스크 패드 컨디셔너

다중 디스크 패드 컨디셔너

by OH JEONGHOON, ZUNIGA STEVEN M, FUJIKAWA TAKASHI, GURUSAMY JAY
Year of Publication 26.02.2024

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Patent

화학적 기계적 연마를 위한 이중 멤브레인 캐리어 헤드

화학적 기계적 연마를 위한 이중 멤브레인 캐리어 헤드

by ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY, NAGENGAST ANDREW J
Year of Publication 19.04.2022

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Patent

위치별 웨이퍼 연마를 위한 롤러

위치별 웨이퍼 연마를 위한 롤러

by ZUNIGA STEVEN M, MIKHAYLICHENKO EKATERINA A, BROWN BRIAN J, RODRIGO CHIRANTHA, GURUSAMY JAY, REDEKER FRED C
Year of Publication 24.10.2023

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Patent

연마 플래튼들 및 연마 플래튼 제조 방법들

연마 플래튼들 및 연마 플래튼 제조 방법들

by ZUNIGA STEVEN M, KIM BUM JICK, GURUSAMY JAY, LOI DANIELLE
Year of Publication 06.01.2022

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Patent

화학적 기계적 연마를 위한 음향 센서의 결합

화학적 기계적 연마를 위한 음향 센서의 결합

by WISWELL NICHOLAS A, RONDUM ERIK S, POURMAND SOHRAB, CHERIAN BENJAMIN, GURUSAMY JAY, OSTERHELD THOMAS H, CHANG SHOU SUNG
Year of Publication 20.02.2024

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Patent

국부적인 웨이퍼 압력을 갖는 연마 헤드

국부적인 웨이퍼 압력을 갖는 연마 헤드

by ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY, GALBURT VLADMIR, NAGENGAST ANDREW, GARRETSON CHARLES C
Year of Publication 22.08.2022

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Patent

MODIFYING SUBSTRATE THICKNESS PROFILES

MODIFYING SUBSTRATE THICKNESS PROFILES

by GURUSAMY JAY, CHEN HUNG CHIH
Year of Publication 28.03.2017

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Patent

COMPLIANT POLISHING PAD AND POLISHING MODULE

COMPLIANT POLISHING PAD AND POLISHING MODULE

by CHEN CHIH HUNG, ZUNIGA STEVEN M, GURUSAMY JAY
Year of Publication 15.03.2017

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