프린지 모아레 및 광학적 모아레 효과들을 사용한 오정렬 계측
GHINOVKER MARK, LEVINSKI VLADIMIR, FELER YOEL, GUREVICH EVGENI, SVIZHER ALEXANDER
Year of Publication 24.03.2023
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Patent
모아레 요소 및 회전 대칭 배열을 사용한 오버레이 타겟 이미징
GHINOVKER MARK, LEVINSKI VLADIMIR, FELER YOEL, GUREVICH EVGENI, SHAPHIROV DIANA
Year of Publication 16.05.2022
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Patent
오버레이 계측을 위한 경사 조명
GHINOVKER MARK, HILL ANDREW V, MANASSEN AMNON, FELER YOEL, VAKNIN YONATAN
Year of Publication 11.01.2024
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Patent
전자빔 오버레이를 위한 오버레이 마크 설계
GHINOVKER MARK, HAJAJ EITAN, STEELY CHRIS, EYRING STEFAN, FELER YOEL, STEELY TARSHISH INNA, POHLMANN ULRICH, GUTMAN NADAV, YOHANAN RAVIV, NAOT IRA
Year of Publication 04.03.2024
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Patent
전자빔 오버레이를 위한 오버레이 마크 설계
GHINOVKER MARK, HAJAJ EITAN, STEELY CHRIS, EYRING STEFAN, FELER YOEL, STEELY TARSHISH INNA, POHLMANN ULRICH, GUTMAN NADAV, YOHANAN RAVIV, NAOT IRA
Year of Publication 27.02.2024
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Patent
오버레이 타겟을 사용한 필드 대 필드 보정
GHINOVKER MARK, VOLKOVICH ROIE, LESHINSKY ALTSHULLER ENNA, STEELY CHRIS, TARSHISH SHAPIR INNA, BEN DOV GUY, SHAPHIROV DIANA
Year of Publication 30.07.2021
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Patent
경사진 주기적 구조물을 갖는 계측 타겟 및 방법
GHINOVKER MARK, YOEL FELER, LEVINSKI VLADIMIR, TARSHISH SHAPIR INNA, SVIZHER ALEXANDER
Year of Publication 24.08.2020
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Patent
이미징 오버레이 계측에서 오버레이 오정렬 오차 평가치의 이용
GHINOVKER MARK, PASKOVER YURI, LEVINSKI VLADIMIR, SHUALL NIMROD, GRUNZWEIG TZAHI, STANIUNAS CLAIRE E, GUTMAN NADAV, GREADY DAVID
Year of Publication 03.06.2020
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Patent