Verfahren zur Behandlung heteroepitaktischer Halbleiterschichten auf Siliziumsubstraten
SKORUPA, WOLFGANG, EICKHOFF, MARTIN, VOELSKOW, MATTHIAS, PANKNIN, DIETER, GEBEL, THORALF, HEERA, VITON
Year of Publication 12.12.2002
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Year of Publication 12.12.2002
Patent
Method for processing heteroepitaxial semiconducting layers on silicon substrates
SKORUPA, WOLFGANG, EICKHOFF, MARTIN, VOELSKOW, MATTHIAS, PANKNIN, DIETER, GEBEL, THORALF, HEERA, VITON
Year of Publication 04.12.2002
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Year of Publication 04.12.2002
Patent
Integrierter Optokoppler und Verfahren zu seiner Herstellung
SKORUPA, WOLFGANG, BORCHERT, DIETMAR, REBOHLE, LARS, FAHRNER, WOLFGANG R, GEBEL, THORALF, BORANY, JOHANNES VON
Year of Publication 20.09.2001
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Patent
Integrated optocoupler and its manufacturing method
SKORUPA, WOLFGANG, BORCHERT, DIETMAR, REHBOLE, LARS, GEBEL, THORALF, VON BORANY, JOHANNES, FAHRNER, WOLFGANG R., DR
Year of Publication 12.09.2001
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Year of Publication 12.09.2001
Patent