Magnetsystem, Sputtervorrichtung und Gehäusedeckel
GROSSER GÖTZ, SANDER THORSTEN, MEISSNER FRANK, SCHNEIDER KLAUS, MOSSHAMMER STEFFEN
Year of Publication 14.09.2023
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Patent
Magnetsystem, Sputtervorrichtung und Gehäusedeckel
GROSSER GÖTZ, SANDER THORSTEN, MEISSNER FRANK, SCHNEIDER KLAUS, MOSSHAMMER STEFFEN
Year of Publication 22.05.2023
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Year of Publication 22.05.2023
Patent
Magnetron-Targetkupplung und Lagervorrichtung
Mosshammer, Steffen, Sander, Thorsten, Schneider, Klaus, Großer, Götz
Year of Publication 17.05.2023
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Year of Publication 17.05.2023
Patent
Magnetsystem, Sputtervorrichtung und Gehäusedeckel
Sander, Thorsten, Mosshammer, Steffen, Schneider, Klaus, Meißner, Frank, Großer, Götz
Year of Publication 17.05.2023
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Year of Publication 17.05.2023
Patent