Reflektierende Halbleiteranordnung mit Spiegelelementen mit zwei Oxidschichten über einer Aluminiumschicht und zugehöriges Verfahren
Witnik, Oliver, Uma Sankar, Raghav Shankar, Seidel, Robert Viktor, Grillberger, Michael, Brach, Nicole, Kammler, Thorsten E
Year of Publication 21.12.2023
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