스트레서 막을 사용하는 정밀 다축 포토리소그래피 정렬 보정
FULFORD H. JIM, FULFORD DANIEL, SCHEPIS ANTHONY, GARDNER MARK I, DEVILLERS ANTON
Year of Publication 16.07.2024
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Patent
수직 적층형 소자 아키텍처 및 랩어라운드 접점을 위한 선택적 가열을 사용하는 저온 및 고온 원위치 도핑된 소스 및 드레인 에피택시의 형성
TAPILY KANDABARA, NIIMI HIROAKI, FULFORD H. JIM, DEVILLIERS ANTON J, GARDNER MARK I, LIEBMANN LARS, SMITH JEFFREY, CHANEMOUGAME DANIEL
Year of Publication 13.04.2023
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Patent
고급 회로 아키텍처를 위한 고밀도 논리 회로 및 메모리를 제조하는 방법
FULFORD H. JIM, GARDNER MARK I, LIEBMANN LARS, SMITH JEFFREY, CHANEMOUGAME DANIEL
Year of Publication 10.05.2022
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Year of Publication 10.05.2022
Patent
하이-K 금속 게이트(HKMG) 막 스택의 선택적 퇴적을 통한 임계치 전압 튜닝 방법
TAPILY KANDABARA, FULFORD H. JIM, DEVILLIERS ANTON J, GARDNER MARK I, LIEBMANN LARS, SMITH JEFFREY, CHANEMOUGAME DANIEL
Year of Publication 15.03.2022
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