타겟 패턴 및 기준 층 패턴을 사용하여 마스크에 대한 광 근접 보정을 결정하는 기계 학습 모델
ZHANG QUAN, CHEN BEEN DER, ZHU ZHANGNAN, BOONE ROBERT ELLIOTT, FONG WEI CHUN
Year of Publication 20.10.2023
Get full text
Year of Publication 20.10.2023
Patent