Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit verbessertem Wärmemanagement
Flügge, Ole, Seviour, Charles, Laufer, Timo, Kemp, Alexandre, Streit, Swetlana
Year of Publication 30.01.2020
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Patent
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit verbessertem Wärmemanagement
Flügge, Ole, Seviour, Charles, Laufer, Timo, Kemp, Alexandre, Streit, Swetlana
Year of Publication 27.09.2018
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Patent
Spiegelanordnung und optisches System mit einer solchen Spiegelanordnung
BUIS, EDWIN JOHAN, BÜTTNER, PAUL, VOGLER, ALEXANDER, MARTINEK, GERHARD, FLÜGGE, OLE, PNINI-MITTLER, BOAZ, HOL, SVEN
Year of Publication 15.10.2015
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Patent
Optical element and method
FLUEGGE, OLE, FOCHT, GERHARD, EVA, ERIC, SCHOENHOFF, ULRICH, THIER, MICHAEL, TAYEBATI, PAYAM, KAZI, ARIF, GRUNER, TORALF, SAUERHOEFER, ALEXANDER, HAUF, MARKUS, WEBER, JOCHEN
Year of Publication 16.10.2013
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Patent
Optical component, projection assembly for semiconductor lithography and projection lens
FLUEGGE, OLE, BUEHLER, CORNELIA, BERROTH, KAI-UWE, MERZ, ERICH, WEBER, JOCHEN, HAUF, MARKUS
Year of Publication 11.03.2009
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Patent
OPTICAL ELEMENT AND METHOD
FLUEGGE, OLE, FOCHT, GERHARD, EVA, ERIC, SCHOENHOFF, ULRICH, THIER, MICHAEL, TAYEBATI, PAYAM, KAZI, ARIF, GRUNER, TORALF, SAUERHOEFER, ALEXANDER, HAUF, MARKUS, WEBER, JOCHEN
Year of Publication 28.08.2008
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Year of Publication 28.08.2008
Patent
OPTICAL ELEMENT AND METHOD
FLUEGGE, OLE, FOCHT, GERHARD, EVA, ERIC, SCHOENHOFF, ULRICH, THIER, MICHAEL, TAYEBATI, PAYAM, KAZI, ARIF, GRUNER, TORALF, SAUERHOEFER, ALEXANDER, HAUF, MARKUS, WEBER, JOCHEN
Year of Publication 27.03.2008
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Year of Publication 27.03.2008
Patent