Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung
Shue, Shau-Lin, Su, Li-Lin, Fu, Shih-Kang, Wu, Hsien-Chang, Lee, Ming-Han
Year of Publication 09.11.2023
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Patent
Halbleitervorrichtung und Verfahren zum Herstellen von dieser
Shue, Shau-Lin, Su, Li-Lin, Fu, Shih-Kang, Wu, Hsien-Chang, Lee, Ming-Han
Year of Publication 30.03.2017
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Year of Publication 30.03.2017
Patent
System and method for chemical-mechanical planarization of a metal layer
FU SHIH-KANG, WU YUNG-HSU, CHEN HAIING, YAO HSINIEH, LEE HSIANG-HUAN, SHUE SHAU-LIN, LEE CHUNG-JU
Year of Publication 03.05.2016
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Year of Publication 03.05.2016
Patent