Direct bonding of micromachined silicon wafers for laser diode heat exchanger applications
Hunt, C E, Desmond, C A, Ciarlo, D R, Benett, W J
Published in Journal of micromechanics and microengineering (01.09.1991)
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Journal Article
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM UMWANDELN VON FLüSSIGEM BRENNSTOFF IN DAMPF UND MIKROSKOPISCHE FLüSSIGKEITSTROPFEN MITTELS EINER ELEKTRONISCHEN BRENNSTOFFEINSPRITZSTEUERUNG
BIRCH, DESMOND, A., GOLDEN, CO 80403, US, NEW, JOHN, W., LITTLETON, CO 80123, US
Year of Publication 23.07.1998
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Year of Publication 23.07.1998
Patent