축의 방향으로 가변적인 측벽 테이퍼를 갖는 비아를 구비한 실리카-함유 기판 및 이를 형성하는 방법
RICKETTS DANIEL OHEN, DAHLBERG RACHEL EILEEN, JIN YUHUI, PIECH GARRETT ANDREW, HUANG TIAN
Year of Publication 07.02.2020
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