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Verfahren zur Konfigurierung einer kapazitiven Druckmessanordnung mit nichtlinearer Kennlinie und derartig konfigurierte Druckmessanordnung

Verfahren zur Konfigurierung einer kapazitiven Druckmessanordnung mit nichtlinearer Kennlinie und derartig konfigurierte Druckmessanordnung

by Benzel, Hubert
Year of Publication 25.04.2024

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Patent

Mikromechanische Sensoranordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren

Mikromechanische Sensoranordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren

by Benzel, Hubert, Haag, Frieder
Year of Publication 13.06.2024

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Patent

Mikromechanisches Drucksensorelement

Mikromechanisches Drucksensorelement

by Benzel, Hubert, Schelling, Christoph
Year of Publication 21.03.2024

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Patent

Halbleiter-Bauelement mit entkoppeltem mikro-elektromechanischen Element

Halbleiter-Bauelement mit entkoppeltem mikro-elektromechanischen Element

by Reinmuth, Jochen, Benzel, Hubert
Year of Publication 29.06.2023

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Patent

INTEGRATED HUMIDITY SENSOR AND METHOD FOR THE MANUFACTURE THEREOF

INTEGRATED HUMIDITY SENSOR AND METHOD FOR THE MANUFACTURE THEREOF

by BENZEL HUBERT
Year of Publication 19.02.2015

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Patent

METHOD FOR PRODUCING A SENSOR ARRANGEMENT COMPRISING A MONOLITHICALLY INTEGRATED CIRCUIT

METHOD FOR PRODUCING A SENSOR ARRANGEMENT COMPRISING A MONOLITHICALLY INTEGRATED CIRCUIT

by BENZEL, Hubert, ARMBRUSTER, Simon
Year of Publication 04.07.2018

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Patent

METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL MEMBRANE STRUCTURE WITH ACCESS FROM THE REAR OF THE SUBSTRATE

METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL MEMBRANE STRUCTURE WITH ACCESS FROM THE REAR OF THE SUBSTRATE

by BENZEL HUBERT, KNESE KATHRIN, SCHUERMANN GREGOR, AHLES MARCUS, KRAMER TORSTEN, ARMBRUSTER SIMON, GRUNDMANN ARMIN
Year of Publication 11.03.2011

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Patent

Micromechanical sensor system and corresponding manufacturing method

Micromechanical sensor system and corresponding manufacturing method

by Haag Frieder, Benzel Hubert
Year of Publication 06.02.2018

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Patent

METHOD FOR PRODUCING A MULTIPLICITY OF CHIPS AND CORRESPONDINGLY PRODUCED CHIP

METHOD FOR PRODUCING A MULTIPLICITY OF CHIPS AND CORRESPONDINGLY PRODUCED CHIP

by BENZEL HUBERT, PINTER STEFAN, KRAMER TORSTEN, HAAG FRIEDER, ARMBRUSTER SIMON, ILLING MATTHIAS, BOEHRINGER MATTHIAS
Year of Publication 07.06.2010

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Patent

Sensor, method for producing a sensor and method for mounting a sensor

Sensor, method for producing a sensor and method for mounting a sensor

by Schelling Christoph, Benzel Hubert
Year of Publication 25.04.2017

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Patent

PROCEDE DE REALISATION D'UN COMPOSANT AYANT UNE SURFACE DE CONTACT ET CAPTEUR POUR RECEVOIR UNE COMPOSANTE DIRECTIONNELLE D'UNE GRANDEUR DE MESURE DIRECTIONNELLE

PROCEDE DE REALISATION D'UN COMPOSANT AYANT UNE SURFACE DE CONTACT ET CAPTEUR POUR RECEVOIR UNE COMPOSANTE DIRECTIONNELLE D'UNE GRANDEUR DE MESURE DIRECTIONNELLE

by BENZEL HUBERT, SCHELLING CHRISTOPH
Year of Publication 02.09.2016

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Patent

Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von Dünnchips und entsprechend gefertigter Dünnchip

Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von Dünnchips und entsprechend gefertigter Dünnchip

by Kraft, Karl-Heinz, Benzel, Hubert, Schelling, Christoph
Year of Publication 14.08.2024

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Patent

MICROMECHANICAL COMPONENT HAVING A SLANTED STRUCTURE AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD

MICROMECHANICAL COMPONENT HAVING A SLANTED STRUCTURE AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD

by BENZEL HUBERT, PIRK TJALF, WEBER HERIBERT, KRUEGER MICHAEL, SATTLER ROBERT, SCHELLING CHRISTOPH, NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC, FRIESE CHRISTOPH, MUCHOW JOERG, PINTEER STEFAN, FRITZ JOACHIM
Year of Publication 29.12.2010

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Patent

Integrated diode array and corresponding manufacturing method

Integrated diode array and corresponding manufacturing method

by BENZEL HUBERT, SCHUERMANN GREGOR
Year of Publication 19.01.2016

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Patent

Verfahren zum Montieren von Halbleiterchips und entsprechende Halbleiterchipanordnung

Verfahren zum Montieren von Halbleiterchips und entsprechende Halbleiterchipanordnung

by Benzel, Hubert
Year of Publication 21.12.2017

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Patent

Sensor arrangement, has mold-housing comprising access port provided with sensitive region and sense element, and stress decoupling structure formed in sense element, where sense element is formed between mold-housing and sensitive region

Sensor arrangement, has mold-housing comprising access port provided with sensitive region and sense element, and stress decoupling structure formed in sense element, where sense element is formed between mold-housing and sensitive region

by BENZEL, HUBERT
Year of Publication 15.12.2011

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Patent

Mikromechanisches Bauteil für eine Hall-Sensorvorrichtung und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil für eine Hall-Sensorvorrichtung

Mikromechanisches Bauteil für eine Hall-Sensorvorrichtung und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil für eine Hall-Sensorvorrichtung

by Benzel, Hubert
Year of Publication 20.07.2017

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Patent

Micromechanical element with reduced stress in the membrane structure

Micromechanical element with reduced stress in the membrane structure

by SCHELLING, CHRISTOPH, BENZEL, HUBERT
Year of Publication 15.07.2015

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Patent

PRODUCTION METHOD FOR A MICROMECHANICAL COMPONENT, CORRESPONDING COMPOSITE COMPONENT AND CORRESPONDING MICROMECHANICAL COMPONENT

PRODUCTION METHOD FOR A MICROMECHANICAL COMPONENT, CORRESPONDING COMPOSITE COMPONENT AND CORRESPONDING MICROMECHANICAL COMPONENT

by Scharping, Armin, Benzel, Hubert, Schelling, Christoph, Henning, Frank
Year of Publication 04.11.2020

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Patent

Mikromechanische Struktur und entsprechendes Herstellungsverfahren

Mikromechanische Struktur und entsprechendes Herstellungsverfahren

by Kramer, Torsten, Benzel, Hubert
Year of Publication 20.08.2020

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