기계 학습을 사용하여 증착된 막들에 대한 농도 프로파일들의 제어
NITTALA KRISHNA, SHANKARAMURTHY VENKATANARAYANA, BARYSHNIKOV ANTON V, KEDLAYA DIWAKAR, JANAKIRAMAN KARTHIK, YANG YI, AYDIN AYKUT, HUANG ZUBIN, CHENG RUI
Year of Publication 31.10.2023
Get full text
Year of Publication 31.10.2023
Patent