VERFAHREN ZUR VORBEHANDLUNG VON ALUMINIUMTARGETS ZUM HOCHRATEZERSTAEUBEN
KIRCHHOFF,VOLKER,DD, BEISTER,GUENTHER,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, FRIEDEMANN,WOLFGANG,DD, GRAEBER,KARL-HEINZ,DD
Year of Publication 02.12.1987
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Year of Publication 02.12.1987
Patent
VERFAHREN ZUM AUFSTAEUBEN TRANSPARENTER LEITFAEHIGER CADMIUMSTANNATSCHICHTEN
HECHT,HANSRISTIAN,DD, SCHNEIDER,SIEGFRIED,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, BEISTER,GUENTHER,DD, SIEBER,WOLFGANG,DD
Year of Publication 21.12.1983
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Year of Publication 21.12.1983
Patent
VERFAHREN ZUM REAKTIVEN DC-PLASMATRON-ZERSTAEUBEN
HECHT,HANSRISTIAN,DD, SCHNEIDER,SIEGFRIED,DD, BEISTER,GUENTHER,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, SIEBER,WOLFGANG,DD
Year of Publication 12.10.1983
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Year of Publication 12.10.1983
Patent
PLASMATRONQUELLE
KIRCHHOFF,VOLKER,DD, HARTUNG,JOHANNES,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, BEISTER,GUENTHER,DD, HEISIG,ULLRICH,DD, GOEDICKE,KLAUS,DD, GRAEBER,KARL-HEINZ,DD, ERBKAMM,WOLFGANG,DD
Year of Publication 15.03.1989
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Year of Publication 15.03.1989
Patent
VERFAHREN ZUM ZYKLISCHEN EVAKUIEREN EINER VAKUUMKAMMER
HECHT,HANSRISTIAN,DD, KUEHN,GERHARD,DD, WEISE,HEIDEMARIE,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, NEDON,WOLFGANG,DD, ERBKAMM,WOLFGANG,DD, BEISTER,GUENTER,DD
Year of Publication 08.03.1989
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Year of Publication 08.03.1989
Patent
VERFAHREN ZUM ZYKLISCHEN EVAKUIEREN EINER VAKUUMKAMMER
HECHT,HANSRISTIAN,DD, KUEHN,GERHARD,DD, WEISE,HEIDEMARIE,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, NEDON,WOLFGANG,DD, ERBKAMM,WOLFGANG,DD, BEISTER,GUENTER,DD
Year of Publication 01.04.1987
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Year of Publication 01.04.1987
Patent
VERFAHREN ZUM ZYKLISCHEN EVAKUIEREN EINER VAKUUMKAMMER
HECHT,HANSRISTIAN,DD, KUEHN,GERHARD,DD, WEISE,HEIDEMARIE,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, NEDON,WOLFGANG,DD, ERBKAMM,WOLFGANG,DD, BEISTER,GUENTER,DD
Year of Publication 25.06.1986
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Year of Publication 25.06.1986
Patent
EINRICHTUNG ZUM HOCHRATE-ZERSTAEUBEN
SCHNEIDER,SIEGFRIED,DD, HARTUNG,JOHANNES,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, GOEDICKE,KLAUS,DD, HEMPEL,WOLFGANG,DD, SIEBER,WOLFGANG,DD
Year of Publication 08.04.1981
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Year of Publication 08.04.1981
Patent
VERFAHREN ZUM REAKTIVEN AUFSTAEUBEN DIELEKTRISCHER SCHICHTEN
SCHNEIDER,SIEGFRIED,DD, BEISTER,GUENTHER,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, SIEBER,WOLFGANG,DD, NEDON,WOLFGANG,DD, VETTERS,PETER,DD, ROTH,HERBERT,DD
Year of Publication 04.02.1981
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Year of Publication 04.02.1981
Patent
VERFAHREN ZUM REAKTIVEN AUFSTAEUBEN VON DIELEKTRISCHEM MATERIAL
SCHILLER,SIEGFRIED,DD, SCHNEIDER,SIEGFRIED,DD, BEISTER,GUENTHER,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, SIEBER,WOLFGANG,DD, ROTH,HERBERT,DD
Year of Publication 08.10.1980
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Year of Publication 08.10.1980
Patent
ZERSTAEUBUNGSEINRICHTUNG
KIRCHHOFF,VOLKER,DD, SCHILLER,SIEGFRIED,DD, SCHNEIDER,SIEGFRIED,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, RESCHKE,JONATHAN,DD, NEDON,WOLFGANG,DD, VETTERS,PETER,DD, MELDE,CHRISTIAN,DD, ERBKAMM,WOLFGANG,DD, BEISTER,GUENTER,DD
Year of Publication 09.12.1987
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Year of Publication 09.12.1987
Patent
EINRICHTUNG ZUR ABSTANDSEINSTELLUNG ZWISCHEN GEGENSTAENDEN
HECHT,HANSRISTIAN,DD, KIRCHHOFF,VOLKER,DD, KORDAS,HERBERT,DD, KUEHN,GERHARD,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, BEISTER,GUENTHER,DD, BADER,KARL,DD, HILPRECHT,BERND,DD, NEDON,WOLFGANG,DD, MELDE,CHRISTIAN,DD, VETTERS,PETER,DD, ERBKAMM,WOLFGANG,DD
Year of Publication 01.07.1987
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Patent
VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN VON TIO TIEF 2 -SCHICHTEN DURCH REAKTIVES HOCHRATEZERSTAEUBEN
SCHNEIDER,SIEGFRIED,DD, HECHT,HANSRISTIAN,DD, SZYMANSKI,ULRICH,DD, BEISTER,GUENTHER,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, BECKER,HANS,DD, SCHICHT,HEINZ,DD, SIEBER,WOLFGANG,DD, NEDON,WOLFGANG,DD, SCHMIDT,HORST,DD
Year of Publication 14.08.1985
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Year of Publication 14.08.1985
Patent
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILIZIUMOXID ALS AUFDAMPFMATERIAL
SCHILLER,SIEGFRIED,DD, OLSCHOCK,GOETZ-VOLKER,DD, BEISTER,GUENTHER,DD, BECKER,HANS,DD, TUEMMLER,RUDOLF,DD, EFFENBERGER,DIETER,DD, LAMBRECHT,DIETER,DD, BUEDKE,EKKEHARD,DD, SCHICHT,HEINZ,DD, ENGEMANN,WOLFGANG,DD, NEDON,WOLFGANG,DD, SCHWARZ,WOLFGANG,DD, ROTH,HERBERT,DD
Year of Publication 18.11.1981
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Year of Publication 18.11.1981
Patent