금속 산화물 배리어를 갖는 접합 패드를 포함하는 접합된 조립체 및 이를 형성하기 위한 방법
HOU LIN, ISHIKAWA KENSUKE, CHEN LINGHAN, TOTANI SHINGO, AMANO FUMITAKA
Year of Publication 24.06.2024
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Patent
복합 후면 금속 충전 구조물들을 갖는 3차원 메모리 디바이스 및 이를 형성하기 위한 방법
SHARANGPANI RAHUL, KAMBAYASHI RYO, MAKALA RAGHUVEER S, AMANO FUMITAKA
Year of Publication 21.06.2024
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선택적 금속 침착을 이용하는 높은 종횡비 비아 충전 공정 및 이에 의해 형성된 구조물들
SHARANGPANI RAHUL, ISHIKAWA KENSUKE, MAKALA RAGHUVEER S, AMANO FUMITAKA
Year of Publication 16.02.2024
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