반도체 나노 패터닝 구현 재료: Spin 코팅 Hardmask용 유기실리콘 및 고탄소 물질
조현모, 전환승, 김상균, 장두원, 김종섭, Cho, Hyeon-Mo, Cheon, Hwan-Sung, Kim, Sang-Kyun, Chang, Tu-Won, Kim, Jong-Seob
Published in 고분자 과학과 기술 (2009)
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Published in 고분자 과학과 기술 (2009)
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