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Repairing of Cr-photo-mask by ultrafast- pulse laser

by Sano, H., Tomita, M., Mori, Takenari, Mori, T., Yamada, Jun, Yamaguchi, Shigeru, Maezono, Y., Zeng, Xiaoyang, Kamiiisaka, Jun, Nakamura, Masayuki, ISHIMINE, Masashi, FUJII, Sadao, Okada, Takeshi, Kawashima, T., LIU, Zhengxin, Fujioka, Tomoo, Nakajima, Yukio, Isii, Nobuo, Hirayama, T., Kyotani, Tatuya, OKADA, Kazuyuki, Kondo, Yuki, Takezoe, N., Uchida, Yoshiyuki, Kubota, T., Furuhashi, Hideo, Takai, H., OZAWA, E., Kouta, Hikaru, Nomura, R., Igarashi, T., Hiramatu, Mineo, SATOII, Saburoh, Hayashi, Naoshige, Yoneda, Hitoki, Umeda, Sachiko, KAWAKAMI, Y., MURO, Mikio, Hirobe, K., YAMABE, Chobei, Ishii, Tadahiro, Kubodera, S., Sugioka, K., Suzuki, K., Kadota, K., Toyoda, K., Hirao, Kazuyuki, Sasaki, W., Shinto, Y., Okuyama, Hiroko, Kobayashi, Shigeto, Tanaka, Kazuyoshi, Kurosawa, K., Qiu, Jianrong, Mitsuyu, T., Takasaki, Takuya, Yosihara, S., Miura, K., Hato, Yukinori, Uchida, Yoshihisa, Morimoto, J., Goto, Toshio, Tsunoda, Katsunori, Nishio, Satoru, Takahashi, Kunimitsu, TAKAHASHI, Nobuyuki, Iizuka, H., Ikagame, T., Makino, K., Akagawa, Kazuyuki, Sugirua, Masaru, NAKATSUKA, Masahiro, YASUDA, Kozo, Takakusaki, H., Hori, Masaru, Mase, Y., IHARA, Satoshi, Kuriki, Shigenori, Kawasaki, Y., NAKAYAMA, Takeyoshi, Obara, Akira, Yajima, Hirofumi, Sasaki, K., Li, Quan, Fuse, Keiji, Sasaki, Takeshi, Yanagita, H., Ando, Nobuo, Sato, T., YABE, Akira, SATO, Tadatake, Kumagai, K., WATANABE, Motoki, Yamamoto, Naokatsu, Hattori, Tetsuya, Hasegawa, M., Semura, Shigeru, Ito, Hiroshi, Horisawa, Hideyuki, TOKUMURA, Keiu
Published in Rēzā kenkyū (1999)

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超短パルスレーザによるクロムフォトマスクの修正

by 堀澤, 秀之, 緑川, 克美, 村原, 正隆, 平山, 隆臣, 高崎, 拓哉, 中田, 順治, 鈴木, 薫, 藤田, 和司, 堀, 勝, 岡田, 健, 石峯, 真佐志, 三浦, 清貴, 中嶋, 行雄, 門田, 清, 伊藤, 博, 山部, 長兵衛, 大山, 茂伸, 森本, 潤平, 平尾, 一之, 池亀, 忠広, 田中, 徹和, 河崎, 泰宏, 加地, 暁憲, 柳田, 英明, 實野, 孝久, 山口, 滋, 森本, 暢明, 内田, 敬久, 佐々木, 毅, 豊田, 浩一, 川瀬, 宏海, 熊谷, 和也, 佐藤, 正健, 古橋, 秀夫, 松崎, 章好, 塚本, 桓世, 南, 志昌, 久保田, 剛, 赤坂, 伸宏, 杉岡, 幸次, 徳村, 啓雨, 石井, 正和, 高橋, 邦充, 小林, 重人, 小原, 隆, 室, 幹雄, 佐藤, 三郎, 奥富, 衛, 中山, 博貴, 矢部, 明, 石井, 信雄, 川島, 豊久, 伊藤, 伸介, 瀬村, 滋, 古宇田, 光, 谷, 雅直, 三方, 博成, 川上, 裕二, 牧野, 勝史, 服部, 哲也, 栗木, 重徳, 河野, 明廣, 間瀬, 康一, 佐々木, 亘, 五十嵐, 龍志, 安東, 信雄, 安永, 暢男, 近藤, 裕己, 新藤, 泰士, 窪寺, 昌一, 高井, 裕司, 林, 直繁, 中塚, 正大, 横谷, 篤至, 新納, 弘之, 奥山, ひろ子, 小原, 明, 廣部, 浩一, 鈴木, 智雄, 中山, 斌義, 江畑, 恵司, 劉, 正新, 岡田, 和之, 佐藤, 博保, 内田, 悦行, 河仲, 準二, 小幡, 孝太郎, 山田, 諄, 富田, 雅明, 野崎, 真之介, 芦澤, 弘明, 藤岡, 知夫, 佐藤, 琢哉, 飯塚, 仁志, 米田, 仁紀, 中村, 成志, 布施, 敬司, 野村, 涼, 長谷川, 将広, 佐々木, 浩一
Published in レーザー研究 (1999)

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