吸引プラズマエッチング法を用いたSiO2ダイアフラム構造作製技術の開発
狩野, 諒, 菅, 洋志, 新堀, 俊一郎, 高橋, 賢, 久保, 利隆, 安藤, 淳, 清水, 哲夫, 宮脇, 淳
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (01.01.2017)
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Journal Article
半導体デバイス解析用局所プラズマ加工装置の開発(4) プラズマ加工中の温度精密計測
岩瀬, 千克, 白山, 裕也, 横須賀, 俊太郎, 樫村, 健太, 林, 明宏, 新堀, 俊一郎, 高橋, 賢, 堀江, 智之, 徳本, 洋志, 内藤, 泰久, 清水, 哲夫
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2012)
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半導体デバイス解析用局所プラズマ加工装置の開発(3) 四重極質量分析による加工モニタリング
高橋, 賢, 堀江, 智之, 白山, 裕也, 横須賀, 俊太郎, 樫村, 健太, 林, 明宏, 岩瀬, 千克, 新堀, 俊一郎, 徳本, 洋志, 内藤, 泰久, 清水, 哲夫
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2012)
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半導体デバイス解析用局所プラズマ加工装置の開発
新堀, 俊一郎, 白山, 裕也, 川上, 辰男, 横須賀, 俊太郎, 樫村, 健太, 綿谷, 透, 清水, 哲夫, 内藤, 泰久, 徳本, 洋志
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2010)
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フラッシングスプレー CVD 法による大面積ウエハへの Nb2O5 膜の成膜
大嶋, 元啓, 米田, 有紀子, 富永, 浩二, 中尾, 基, 清水, 哲夫, 千田, 二郎, 石田, 耕三
Published in Journal of the Ceramic Society of Japan (2007)
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