ポリメタクリル酸メチル樹脂の水素プラズマ曝露と低エネルギーアルゴンイオンビームによるエッチング
吉村, 智, 幾世, 和将, 杉本, 敏司, 村井, 健介, 木内, 正人, 浜口, 智志
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2013)
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光照射を重畳した CF3 イオンビームによる SiO2 エッチング率の測定
幾世, 和将, 吉村, 智, 滝澤, 敏史, 唐橋, 一浩, 木内, 正人, 浜口, 智志
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2008)
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2008)
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