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シリコン基板上 GaN パワーデバイスエピタキシャル成長用有機金属気相成長装置の現状と課題
矢野, 良樹, 伴, 雄三郎, 内山, 康祐, 生方, 映徳, 松本, 功, 山本, 淳, 内藤, 一樹, 田渕, 俊也, 池永, 和正, 山口, 晃
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2011)
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2011)
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Journal Article