전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 화학 증착법에 의한 실리콘 질화막 형성 및 특성 연구
김용진(Yong-Jin Kim), 김정형(Jung-Hyung Kim), 송선규(Sun-Kyu Song), 장홍영(Hong-Young Chang)
Published in Biuletyn Uniejowski (1992)
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Published in Biuletyn Uniejowski (1992)
Journal Article