Si-Si 表面活性化接合における活性化条件と表面状態との関係
稲村, 美希, 吉田, 紀子, 小田, 知弘, 阿部, 智之, 阿部, 英之, 楠, 勲
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2009)
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2009)
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Journal Article