光照射を重畳した CF3 イオンビームによる SiO2 エッチング率の測定
幾世, 和将, 吉村, 智, 滝澤, 敏史, 唐橋, 一浩, 木内, 正人, 浜口, 智志
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2008)
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2008)
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Journal Article