プラズマエッチングによるマイクロ流体チップ用チタン製微細金型製造技術の開発
人母, 岳, 城木, 正博, 鍋澤, 浩文, 浅地, 豊久, 安部, 隆
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (01.01.2017)
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Journal Article