パルスレーザー堆積法によりシクロオレフィンポリマー基板上に作製したアルミニウムドープ酸化亜鉛系透明導電膜
中村, 篤宏, 道畑, 良太, 青木, 孝憲, 鈴木, 晶雄, 松下, 辰彦, 奥田, 昌宏
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2008)
Published in Journal of the Vacuum Society of Japan (2008)
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Journal Article