RF マグネトロンスパッタ法により作製した Zn0.98Al0.02O 薄膜の熱電特性
上野, 美香, 吉田, 隆, 高井, 吉明, 山口, 正隆
Published in Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌) (2004)
Published in Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌) (2004)
Get full text
Journal Article