네거티브 톤 현상 가능한 포토 레지스트의 컴퓨터 모델링 및 시뮬레이션을 위한 개선된 방법
BLANKENSHIP DAVID A, SMITH MARK D, BIAFORE JOHN J, GRAVES TREY (JOHN) S, VAGLIO PRET ALESSANDRO
Year of Publication 26.02.2019
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