Verfahren zur Herstellung eines Körpers für einen Induktionsmagneten zur Verwendung bei der Erzeugung eines hoch-dichten Plasmas sowie Halbleiterherstellungsgrät, das einen nach diesem Verfahren hergestellten Induktionsmagneten verwendet
CHOI, BYEUNG-WOOK, JUNG, JIN-SU, HUH, NO-HYUN, CHOI, JAE-SUN, LEE, DOO-WON, HWANG, JUNG-HYUN
Year of Publication 09.04.2009
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Year of Publication 09.04.2009
Patent
Induction magnet for generating magnetic field in semiconductor device manufacturing equipment, has body containing unitary parts of electrically insulating and magnetic material
CHOI, BYEUNG-WOOK, JUNG, JIN-SU, HUH, NO-HYUN, CHOI, JAE-SUN, LEE, DOO-WON, HWANG, JUNG-HYUN
Year of Publication 23.01.2003
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Year of Publication 23.01.2003
Patent
Sitzverriegelungsstruktur
KIM, JIN WOO, PYUN, JONG KWEON, YOO, JONG MOON, KANG, WON GYU, KIM, TAE HYUNG, CHOI, BYUNG YONG, KIM, WAN HYUN, HONG, SEONG TAE, JUNG, SU JIN, LEE, TAE HOON
Year of Publication 14.06.2012
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Year of Publication 14.06.2012
Patent
Sitzverriegelungsstruktur
KIM, JIN WOO, PYUN, JONG KWEON, YOO, JONG MOON, KANG, WON GYU, KIM, TAE HYUNG, CHOI, BYUNG YONG, KIM, WAN HYUN, HONG, SEONG TAE, JUNG, SU JIN, LEE, TAE HOON
Year of Publication 05.04.2012
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Year of Publication 05.04.2012
Patent