EIN VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG EINER METALLSCHICHT AUF EINER HALBLEITER-INTERKONNEKTSTRUKTUR MIT EINER DECKSCHICHT
DALTON, TIMOTHY, SIMON, ANDREW, YANG, CHIHAO, CLEVENGER, LARRY, SEO, SOONON, WANG, YUN-YU, KALDOR, STEFFEN, KUMAR, KAUSHIK, HOINKIS, MARK, LA TULIPE, DOUGLAS, YANG, HAINING
Year of Publication 15.06.2010
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Year of Publication 15.06.2010
Patent
A METHOD FOR DEPOSITING A METAL LAYER ON A SEMICONDUCTOR INTERCONNECT STRUCTURE HAVING A CAPPING LAYER
DALTON, TIMOTHY, SIMON, ANDREW, YANG, CHIHAO, CLEVENGER, LARRY, SEO, SOONON, WANG, YUN-YU, KALDOR, STEFFEN, KUMAR, KAUSHIK, LA TULIPE, DOUGLAS, JR, HOINKIS, MARK, YANG, HAINING
Year of Publication 02.06.2010
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Year of Publication 02.06.2010
Patent
Zweischichtige Metallhartmasken zur Verwendung in Dual-Damascene-Ätzschemata und Verfahren zur Bereitstellung der Metallhartmasken
LA TULIPE, DOUGLAS C, SCHACHT, JOCHEN, YANG, CHIHAO, CLEVENGER, LARRY, DALTON, TIMOTHY J, KALDOR, STEFFEN, KUMAR, KAUSHIK, KALTALIOGLU, ERDEM, HOINKIS, MARK, COWLEY, ANDY, SIMON, ANDREW H
Year of Publication 10.08.2006
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Year of Publication 10.08.2006
Patent
A METHOD FOR DEPOSITING A METAL LAYER ON A SEMICONDUCTOR INTERCONNECT STRUCTURE HAVING A CAPPING LAYER
DALTON, TIMOTHY, SIMON, ANDREW, YANG, CHIHAO, CLEVENGER, LARRY, SEO, SOONON, WANG, YUN-YU, KALDOR, STEFFEN, KUMAR, KAUSHIK, LA TULIPE, DOUGLAS, JR, HOINKIS, MARK, YANG, HAINING
Year of Publication 07.09.2005
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Year of Publication 07.09.2005
Patent
Zweischichtige Metallhartmasken zur Verwendung in Dual-Damascene-Ätzschemata
LA TULIPE, DOUGLAS C, SCHACHT, JOCHEN, YANG, CHIHAO, CLEVENGER, LARRY, DALTON, TIMOTHY J, KALDOR, STEFFEN, KUMAR, KAUSHIK, KALTALIOGLU, ERDEM, HOINKIS, MARK, COWLEY, ANDY, SIMON, ANDREW H
Year of Publication 03.02.2005
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Year of Publication 03.02.2005
Patent